設備性能

1

UPH

300-400 片/H

2

視野范圍

160*160 mm

3

晶粒尺寸

有背鍍晶?！?span>2*2mil；

無背鍍晶粒電極≥Φ20um；

正鍍晶粒電極≥Φ35um。

4

晶粒間距

≥20um

5

計數(shù)誤差

(@3σ)

有背鍍晶?！堋?span>0.01%；

無背鍍晶粒電極≤±0.03%；

正鍍晶粒電極≤±0.05%。

6

離型紙

無需去除離型紙；

離型紙規(guī)格190*190-220*220mm

7

單次上料晶圓數(shù)量

≤500片